凱世通光伏離子注入機已開發出四代系列產品。
Ion Solar?, 第一代光伏離子注入設備(2011~2014)
具有質量分析,采用金屬托盤傳送,能量5-15KeV, 均勻性<5cm2/ma 產能800-1500WPH。
iPV-2000第二代光伏離子注入設備(2014~2017)
略去質量分析,采用皮帶水平傳送硅片,避免硅片在載盤傳送中的摩擦損傷。采用固態磷代替磷烷,降低客戶成本,能量5-15KeV, 均勻性<5cm2/ma,產能1700~2000WPH。
iPV-3000第三代光伏離子注入設備(2017~)
皮帶水平傳送硅片,兼容固態磷和磷烷系統離子源,改進的大束流離子源,雙源結構,可應用于多種使用場景。束流提升40%增加圖案化注入摻雜功能,,能量5-15KeV, 均勻性<4cm2/ma,產能>3000WPH。
iPV-6000第四代光伏離子注入設備(2019~)
2019年上市,除了具備iPV-3000的特性外,優化了真空系統效率和傳送穩定性,提升了離子源引出束流密度,是目前市場上極高產能的光伏離子注入機設備。iPV-6000沿用IPV-3000的雙源系統,并可兼容磷烷和固態磷作為摻雜源。能量5-15KeV, 均勻性<4cm2/ma,產能6000WPH。